1、硅片抗彎強度與硅片內(nèi)在質(zhì)量和表面損傷狀況有關,一般力學參數(shù)都有一定的分散度,因此每組試樣作研究時需10片左右,抽檢時可按有關抽樣標準或供需雙方商定。
2、試樣表面應符合GB12964或GB12965要求。
3、將試樣用石臘:松香=2:1配成的粘合劑粘在玻璃板上,用直徑40mrn的割圓套頭在臺鉆上割成直徑40mrn的圓片。割圓位置規(guī)定如下:直徑小于80mm的硅片在同心圓位置;直徑80rnm以上長硅片在偏離主參考面45。位置割diyi個圓。摩擦磨損試驗機 端淬試驗機 拉力試驗機 材料試驗機 電子試驗機 扭轉(zhuǎn)試驗機
4、試樣用適當溶劑去臘,用洗滌劑清洗潔凈,去離子水沖洗,烘干后放入干燥器中備用。